泛林引见世界首款半导体系体例制设备公用协做

　　IT之家 12 月 11 日动静，Lam Research 泛林集团本地时间昨日对其打制的世界首款专为半导体系体例制设备打制的协做机械人（IT之家注：Collaborative Robot）Dextro 进行了引见，由制制手艺人员或工程师进行节制，借帮各类“手部东西”能很好地完成三项环节设备使命：无需拆卸下腔室即可从动化去除腔室侧壁上的任何聚合物堆积，以往人类需要配备沉型呼吸防护设备才能施行此类使命。这意味着 Dextro 可帮帮晶圆厂工程师分管凡是耗时、提拔工艺全体切确度，削减劳动力需求、降低华侈、缩短停机，从而最终提高晶圆厂产量。泛林暗示单个 Dextro 协做机械人能为 50 到 100 个泛林东西腔室供给办事，目前已可用于旗下 Flex G / H 系列介电刻蚀东西的支撑工做，自 2025 年起头将扩展至其它东西和使用。当制制设备需要时，必需快速高效地完成工做， Dextro 的无差错有帮于鞭策出产正在可变性和产量上的改良。这是三星迈向自从工场的一个冲动的里程碑。